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LIMO BTS光束传输系统
LIMO光束传输系统、LIMO LD Bar BTS光束传输系统、LIMO光束传输系统简介:德国Limo公司是世界*的微光学(Micro-optics)产品和半导体激光器(Diode Laser)的供应商,其微光学技术是业内*的世界*,微光学产品的应用涵盖半导体激光准直、耦合透镜;激光微细加工光束的整形镜;光刻机上的核心光束均匀化物镜。LIMO BTS光束传输系统
LIMO BTS光束传输系统的简介:
德国Limo公司是世界*的微光学(Micro-optics)产品和半导体激光器(Diode Laser)的供应商,其微光学技术是业内*的世界*,微光学产品的应用涵盖半导体激光准直、耦合透镜;激光微细加工光束的整形镜;光刻机上的核心光束均匀化物镜。
LIMO BTS光束传输系统传输系统主要功能是将二极管Bar输出的不对称的光束转变为基本对称光束,这样就可以使用一个对称聚焦的集成光束镜去准直或聚焦这束光, LIMO的快轴准直器有以下多种型号可供选择。
的技术指标
发光尺寸/周期(um) | 快轴发散角(FW@1/e2) | 波长范围(nm) | 产品型号 |
150/500 | <8mrad | 790-990 | BTS-123 |
150/500 | <12mrad | 790-990 | BTS-106 |
200/400 | <12mrad | 790-990 | BTS-101 |
150/500 | <15mrad | 790-990 | BTS-109 |
100/500 | <6mrad | 790-990 | CBTS-475 |
150/500 | <8mrad,<12mrad,<15mrad | 600-1600 | CBTS |
的主要特点:
BTS(光束转折器)能够将非常不匀称的远场发射光整形成几乎圆形的光斑,并使用HOC将一束均匀光进行聚焦。
另外Limo公司还提供紧凑型的BTS,这种紧凑型的BTS使得占地面积更小,提高费用的利用率。